數(shù)字式四探針測試儀是根據(jù)四探針測試原理研究成功的多用途的綜合測量裝置，它可以測量棒狀、塊狀半導(dǎo)體材料的電阻率和半導(dǎo)體擴散層的薄層電阻進行測量，可以從10-6--105Ω—cm全量程范圍檢測硅的片狀、棒狀材料的電阻、薄層電阻，是硅材料質(zhì)量監(jiān)測的儀器。儀器為臺式結(jié)構(gòu)，分為電氣箱、測試架兩大部分，用戶可以根據(jù)測試需要安放在一般工作臺或者工作臺上，測試架由探頭及壓力傳動機構(gòu)、樣品架組成，耐磨和使用壽命長的特點。探頭內(nèi)設(shè)有彈簧壓力裝置，壓力從0—2Kg連續(xù)可調(diào)，測試架設(shè)有手動和電動兩種裝置供用戶選購。儀器電氣箱主要由高靈敏的直流數(shù)字電壓表和高穩(wěn)定的恒流源組成，測量結(jié)果由數(shù)字直接顯示，儀器有自校量程，可以方便地對儀器的電氣性能進行校驗。儀器具有測量高、靈敏度高、穩(wěn)定性好、測量范圍廣、結(jié)構(gòu)緊湊、使用方便等特點，儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、器件廠、科學(xué)研究部門、高等院校，對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試及工藝檢測。
主要參數(shù)：
范圍：電阻率10-4—103Ω—cm，可擴展至105Ω—cm，分辯率為10-6Ω—cm
方塊電阻10-3—103Ω /□
電阻10-6—105Ω
可測半導(dǎo)體尺寸：直徑Φ15—150mm
測量方式：軸向、斷面均可（手動測試架）
數(shù)字電壓表（1）量程0.2mV、2mV、20mV、200mV、2V
測量誤差------------ 0.2mV檔±（0.3%讀數(shù)+8字）
2 mV檔以上±（0.3%讀數(shù)+2字）
輸入阻抗0.2mV、2mV擋105Ω 0mV檔以上>108Ω
顯示3 1/2位數(shù)字顯示，0—1999
具有極性和過載自動顯示，小數(shù)點、單位自動顯示
恒流源：
（1）電流輸出：直流電流0—100mA連續(xù)可調(diào)，由交流電源供給
（2）量程：10μA、100μA、1mA、10mA、100mA 五檔
（3）電流誤差-----：±（0.3%讀數(shù)+2字）
四探針測試探頭
(1）探頭間距：1mm (2)探針機械游率：±0.3%
(3) 探針：Φ0.5mm (4)壓力：可調(diào)
測試架：
（1）手動測試架：探頭上升及下降由手動操作，可以用作軸向和斷面的單晶棒和硅片測試。
（2）電動測試架：探頭的上升和下降由電動操作，設(shè)有自動控制器控制，探頭上升時間1S—99S可調(diào)，探頭下降時間1S—99S可調(diào)，壓力恒定可調(diào)（由砝碼來設(shè)定）同時設(shè)有腳踏控制裝置由腳踏開關(guān)控制探頭上下運動。
電流：220V±10% 50HZ或60HZ：功率消耗<35W
外形尺寸：電氣箱130×110×400mm
BXBD-086半導(dǎo)體電阻率測試儀
半導(dǎo)體電阻率測試儀是普及型半導(dǎo)體電阻率測試儀器，本儀器是根據(jù)四探針原理，適合半導(dǎo)體器材廠，材料廠用于測量半導(dǎo)體材料（片狀、棒狀）的體電阻率，方塊電阻（簿層電阻），也可以用作測量金屬薄層電阻，經(jīng)過對用戶、半導(dǎo)體廠測試的調(diào)查，根據(jù)ASTM標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定，在電路和探頭方面作了重大的修改和技術(shù)上的許多突破，它更適合于半導(dǎo)體器材廠工藝檢測方面對中值、高阻硅、鍺材料方塊電阻和體電阻率的測量需要，成為普及型的電阻率測試儀，具有測量高，穩(wěn)定性好，輸入阻抗高，使用方便等特點。
主要參數(shù)：
測量范圍：電阻率10-3—103Ω-cm，分辯率為 10-4Ω-cm ，可擴展到105Ω-cm
方塊電阻10-2—104Ω/□，分辯率為10-3Ω/□，可擴展到106Ω/□
薄層金屬電阻10-4—105Ω，分辯率為10-4Ω
可測半導(dǎo)體材料尺寸：直徑Φ15—Φ125mm；長度：150mm(可擴展500mm)
測量方式：軸向、斷面均可
數(shù)字電壓表：
（1）量程：20mV(分辯率：10μV)、200mV、2V
（2）測量誤差：±0.3%讀數(shù)±1字
（3）輸入阻抗：大于108Ω
（4）顯示3 1/2 位紅色發(fā)光二極管（LED）數(shù)字顯示
0---1999具有極性、過載、小數(shù)點、單位自動顯示
恒流源：由交流供電，具有良好的防泄漏隔離功能
直流電流：0—100mA連續(xù)可調(diào)
量程：10μA、100μA、1mA、10mA、100mA
分辯率：10nA、0.1μA、1μA、10μA、0.1mA
電流誤差：±0.3%讀數(shù)±2字
電性能模擬考核誤差：<±0.3%符合ASTM指標(biāo)
測試探頭：（1）探針機械游移率：± 0.3% 符合ASTM 指標(biāo)
電源：交流220V±10% 50HZ或60HZ 功率消耗< 30W
電氣箱外形尺寸：119×440×320mm
